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FFU净化过滤单元

FFU 净化过滤单元

所属类别: FFU 净化单元

产品介绍

FFU( 层流罩 ) 具有特点:

第一:灵活性。因为 FFU 是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整, FFU 的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。

第二:可再利用性。从理论上讲,一时不用的 FFU 设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。

第三:负压通风。这是 FFU 的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。

第四:缩短建设周期。使用 FFU 省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用 FFU 成为了一种可能。

第五:减少运行成本。虽然在选用 FFU 时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少 40% 的运行成本。

第六: FFU 净化过滤单元 特别适合于组装成超净生产线,可根据工艺需要布置为单台使用,也可以将多台串联形成 100 级流水装配线。

第七:独特风道(微阻力流线型)设计

第八:产品出厂前均按美国联邦标准 209E 逐台严格检验,可靠性高。

FFU 高效净化层流罩售后服务

 

1 、 本公司对售出的每一台产品建立用户档案并定期跟踪、回访产品的质量及使用情况。

2 、 本公司免费为用户提供技术咨询及培训,解决用户在使用过程中出现的各种问题。

3 、 本产品自售出之日起一年内,如在正常使用情况下出现故障,本公司负责免费维修并更换损坏的零部件(易损件.高效过滤器等不属保修之列);非正常使用情况及保修期之外发生设备故障,本公司负责维修,酌情收取维修费及零部件成本费。